
Arrêtez de chauffer les parois de vos équipements
Chauffer l’intérieur d’un outil de fabrication de semi-conducteurs est plutôt problématique. Il est nécessaire d’apporter beaucoup de chaleur au wafer ou au substrat, mais ce que l’on veut absolument éviter, c’est que cette chaleur se propage dans les parois intérieures de la machine. Lorsque la chaleur se diffuse partout, les parois de la machine l’absorbent entièrement. Résultat : des surfaces devenant dangereusement chaudes, et un système de refroidissement qui doit travailler dur pour éviter que tout ne fonde.
Le secret réside dans l’or.
Les ampoules infrarouges standard diffusent la chaleur dans toutes les directions – à 360 degrés. Nous résolvons ce problème en associant ces ampoules à un réflecteur en or de haute pureté. L’or n’est pas seulement utilisé pour les bijoux : il est incroyablement efficace pour refléter les ondes infrarouges. Au lieu de laisser la chaleur se disperser, l’or la concentre en un faisceau bien dirigé. Le résultat ? L’énergie va exactement là où elle doit aller. Les parois intérieures restent fraîches au toucher, et les systèmes de climatisation peuvent enfin se reposer.
Quelques points à garder à l’esprit.
Comme toute cette chaleur est concentrée en un seul point, il faut être prudent quant à l’endroit où l’on place l’ampoule. Si elle est trop proche, des zones chaudes apparaîtront sur les composants. Si elle est trop éloignée, le faisceau de chaleur s’étendra, ce qui entraînera une perte de l’isolation thermique. C’est un équilibre délicat à trouver, mais cela en vaut la peine.
La meilleure chose, c’est que ces dispositifs peuvent être installés en remplacement direct des anciens. On conserve la même puissance, mais l’énergie atteint réellement son objectif.
Protéger les personnes.
En fin de compte, il s’agit de sécurité. Lorsqu’un technicien ouvre un outil pour effectuer des réparations, il ne doit pas avoir à craindre de se brûler les mains à cause d’un métal à 60 °C. En utilisant des rayons infrarouges dirigés, on transfère la chaleur du milieu environnant vers l’objet à traiter. La surface à traiter ne change pas, mais toute l’opération devient beaucoup plus sûre.