متوقف کردن «باران شیشهها»: روش بهتری برای مقابله با خرابی لامپهای مادون قرمز
در سیستمهای نیمههادی با بار کاری بالا، خراب شدن لامپ تنها یک مشکل جزئی نیست؛ بلکه یک فاجعه است. وقتی لوله کوارتز پاره میشود، شما با تکههای شیشه و مواد شیمیایی مواجه میشوید که میتوانند ویفرها را خراب کنند. چنین آلودگیهایی میتوانند در عرض چند ثانیه، کل محموله را از بین ببرند.
ما هیترهای مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
کنترل آلودگیها
روش ما این است: عنصر گرمایشی را در یک پوشش حفاظتی قرار میدهیم. میتوان آن را مانند یک تور حفاظتی در نظر گرفت. اگر پوشش کوارتزی اصلی پاره شود، تکههای شیشه درون آن باقی میمانند؛ بنابراین هیچ باران شیشهای وجود نخواهد داشت.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این نوع کوارتز میتواند نوسانات دمایی شدید را تحمل کند. اما باید واقعبین باشیم؛ حتی بهترین کوارتزها نیز ممکن است در برابر فشارهای زیاد ترک بخورند. بهتر است برای این امر آماده باشیم.
کنترل گرما (و فشار)
بیشتر لامپها به این دلیل خراب میشوند که دمای آنها بیش از حد بالا میرود. برای جلوگیری از این امر، از ترموکوپلهای دقیق استفاده میکنیم تا بتوانیم وضعیت دمایی را در زمان واقعی بررسی کنیم. با تنظیم دقیق سیستم PID، دمای فیلامنت را در محدوده ایمن نگه میداریم تا به نقطه شکست نرسد.
نکته دیگر این است که منبع تغذیه را نیز بررسی کنید؛ افزایش ناگهانی ولتاژ میتواند لامپ را فوراً خراب کند. ما همیشه توصیه میکنیم از تنظیمکنندههای ولتاژ ویژه استفاده کنید تا از این مشکلات جلوگیری شود.
توازن مناسب
باید صادقانه بگویم که استفاده از این پوششها و لایههای حفاظتی، مقدار کمی از توان لامپ را کاهش میدهد. ممکن است دمای ویفرها ۵ تا ۱۰ درصد کمتر شود.
اما صادقانه بگویم، این قیمتی است که ارزشش را دارد. شما کمی از سرعت گرمایش را فدا میکنید تا اطمینان حاصل کنید که فضای کاری شما همچنان تمیز باقی میماند. این بهتر از از دست دادن کل محموله ویفرهاست.
سیستم خاموشکن اضطراری
اگر میخواهید کاملاً در امان باشید، این دستگاهها را به یک سیستم خاموشکن خودکار متصل کنید. اگر ترموکوپل کاهش ناگهانی دما را تشخیص دهد، سیستم فوراً برق را قطع میکند. این کار باعث میشود که جریان الکتریکی به سایر دستگاهها سرایت نکند.