متوقف کردن مشکلات ناشی از ذرات در اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰
اگر شما مسئول مدیریت یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ برای تولید تراشهها هستید، قطعاً با این مشکلات آشنا هستید. بزرگترین مشکل شما، خروج گازهای سمی از این اتاقهاست.
اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، در چنین محیطهایی مشکلساز هستند؛ به محض اینکه دمای آنها به حد لازم میرسد، شروع به تولید ذرات یا گازهای فرار میکنند. حتی یک ذره کوچک یا یک جریان گاز نامرئی، میتواند باعث خراب شدن ویفرها شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
ما این مشکل را با استفاده از ترکیبی ساده اما با کیفیت بالا حل کردیم: لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز، همراه با سیمهای پوشیده شده با Teflon (PTFE).
چرا این روش مؤثر است؟
ما از کوارتز سنتتیک با کیفیت بالا برای ساخت لامپ استفاده میکنیم؛ دلیلش این است که این ماده در دماهای بالا تغییر نمیکند و مشکلی ایجاد نمیکند. سیمهای مورد استفاده نیز پوشیده شده با PTFE هستند؛ چرا؟ چون این تنها مادهای است که در دماهای بالا به ذرات یا گازهای سمی تبدیل نمیشود. اگر از PVC یا سیلیکون استفاده کنید، تمام هشدارهای مربوط به اتاقهای تمیز فعال خواهد شد؛ علاوه بر این، آلایندههای زیادی نیز روی سطح ویفرها ایجاد خواهد شد. این وضعیت خوبی نیست.
مشکل پیچیده: نصب
برای اینکه گرمایش به خوبی انجام شود، باید همه چیز را در فضای کوچکی قرار دهیم؛ یعنی منبع گرما باید تا حد امکان نزدیک به هدف باشد. اما این کار باعث ایجاد مشکلات دیگری میشود.
اگرچه PTFE در برابر گرما مقاوم است، اما نمیتوان سیمها را مستقیماً روی کوارتز قرار داد؛ چون این کار باعث ذوب شدن سیمها میشود. بنابراین، باید فاصله کوچکی بین سیمها و کوارتز وجود داشته باشد تا سیمها بتوانند کار خود را انجام دهند.
همچنین، باید مقدار توان مصرفی را نیز به دقت کنترل کرد؛ استفاده از توان بیش از حد، فشار زیادی روی سیستم گرمایشی ایجاد میکند.
نتیجه نهایی:
در نهایت، شما فقط میخواهید یک سیستم گرمایشی کارآمد داشته باشید که کار شما را سختتر نکند. با این روش، شما میتوانید از یک راهحل مناسب استفاده کنید؛ بدون ذرات، بدون گازهای سمی، و بدون افزایش ناگهانی ذرات. به این ترتیب، بازدهی شما بالا خواهد ماند و مهمتر از همه، سنسورهای شما نیز دیگر صدا تولید نخواهند کرد.