Detener el problema de las partículas en las salas limpias de clase 100
Si usted administra una sala limpia de clase 100 para la fabricación de semiconductores, ya conoce los problemas que se presentan. Su mayor problema es la emisión de gases. La mayoría de los elementos calefactores estándar son inútiles en estos entornos. Tan pronto como alcanzan la temperatura de funcionamiento, comienzan a liberar partículas o compuestos orgánicos volátiles (COVs). Una sola partícula o un pequeño hilo de gas puede arruinar todas las obleas. Es frustrante.
Hemos solucionado este problema utilizando una combinación sencilla pero eficaz: lámparas infrarrojas de cuarzo, junto con cables especializados hechos de Teflón (PTFE).
¿Por qué funciona esto?
Utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para los recubrimientos de las lámparas. La razón es simple: no produce humo ni se degrada cuando hace calor. Simplemente permanece en su lugar y cumple con su función sin reaccionar a nada.
En cuanto a los cables, solo utilizamos cables recubiertos de PTFE. ¿Por qué? Porque es el único material que no se descompone en polvo ni libera gases cuando hace calor. Si intenta usar PVC o silicona, activará todas las alarmas de la sala limpia. Además, eso causará contaminantes en los sustratos. No es algo bueno.
La parte complicada: la instalación
Para que la calefacción sea eficiente, mantenemos todo en un espacio reducido. Queremos que la fuente de calor esté lo más cerca posible del objetivo. Pero eso crea un problema de acumulación de calor. Aunque el PTFE soporta bien el calor, no se pueden colocar los cables directamente sobre el cuarzo. Se derretirían. Es necesario dejar un pequeño espacio entre los cables y el cuarzo.
También prestamos mucha atención al consumo de energía. Es tentador aumentar la potencia para acelerar el proceso, pero eso representa un riesgo. Demasiada energía ejerce demasiada presión sobre los sellos del cuarzo.
En resumen
Al final, lo que queremos es un sistema de calefacción que funcione sin dificultades. Con este enfoque, obtenemos una solución que funciona perfectamente: sin partículas, sin gases extraños y sin picos repentinos en la cantidad de partículas. Su tasa de producción se mantiene alta, y, lo más importante, sus sensores dejan de funcionar incorrectamente.