Die „Glasregen“-Problematik verhindern: Eine bessere Lösung bei Ausfällen der Infrarotlampen
In Systemen mit hohem Arbeitsaufkommen ist das Versagen einer Lampe mehr als nur ein Ärgernis oder eine kurze Unterbrechung des Betriebs – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Wenn die Quarzkammer platzt, muss man nicht nur mit einer kaputten Lampe fertig werden, sondern auch mit Glassplittern und chemischen Rückständen, die auf die Wafer fallen. Solche sekundären Verunreinigungen können ganze Chargen von Wafern innerhalb weniger Sekunden zerstören.
Wir konstruieren unsere Infrarotheizgeräte so, dass das nicht passiert.
Die Kontrolle über die Unordnung
So gehen wir vor: Wir umhüllen den Heizelement mit einem zusätzlichen Schutzgehäuse oder einer speziellen Schuttschicht. Stellen Sie sich das wie ein Sicherheitsnetz vor. Falls die primäre Quarzkammer versagt, bleiben die Glassplitter darin gefangen. Kein „Glasregen“, keine beschädigten Wafer.
Wir verwenden hochreines, gefülltes Quarzmaterial – dieses Material kann schnelle Temperaturschwankungen problemlos verkraften. Doch selbst das beste Quarz kann unter starken Belastungen zerbrechen. Es ist daher besser, darauf vorbereitet zu sein.
Kontrolle der Hitze (und des Drucks)
Die meisten Lampen versagen, weil sie einfach zu heiß werden. Um das zu verhindern, nutzen wir präzise abgestimmte Thermoelemente, die uns eine Echtzeit-Bilanz über die Temperatur liefern. Durch die Optimierung des PID-Systems halten wir die Temperatur des Filaments in einem sicheren Bereich – damit er nicht seine Grenzen überschreitet.
Noch etwas: Überprüfen Sie Ihre Stromversorgung. Spannungsspitzen können eine Lampe sofort zerstören. Wir empfehlen immer, spezielle Regler zu verwenden, um solche Spitzen vom Heizelement fernzuhalten.
Der faire Kompromiss
Ehrlich gesagt kostet die Verwendung dieser Schutzhüllungen etwas mehr Energie. Die Wärme, die die Wafer erreicht, könnte um 5–10 % geringer sein als bei einer herkömmlichen Lampe.
Aber ehrlich gesagt: Das ist ein Preis, den man bezahlen sollte. Man tauscht etwas an Heizgeschwindigkeit gegen die Sicherheit, dass der Reinraum tatsächlich sauber bleibt. Das ist besser, als ganze Chargen von Wafern zu verlieren.
Die letzte Sicherheitsmaßnahme
Wenn Sie absolut sicher sein wollen, schließen Sie diese Geräte in ein System mit automatischer Abschaltung ein. Wenn das Thermoelement einen plötzlichen Temperaturabfall feststellt – ein klares Zeichen für einen kaputten Lampen – schaltet das System sofort den Strom ab. Dadurch wird verhindert, dass ein Elektrikschlag auf die anderen Heizgeräte übergeht und diese zerstört.