Bekämpfung des Partikelproblems in Reinräumen der Klasse 100
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 für die Herstellung von Halbleitern verwalten, kennen Sie sicherlich die Probleme, mit denen man dort konfrontiert wird. Das größte Problem ist dabei das Ausdunsten von Stoffen aus den Heizelementen. Die meisten herkömmlichen Heizeelemente sind in solchen Umgebungen völlig ungeeignet – sobald sie die Betriebstemperatur erreichen, beginnen sie, Partikel abzugeben oder flüchtige organische Verbindungen freizusetzen. Schon ein kleiner Partikel oder eine winzige Gasmenge können dazu führen, dass Ihre Wafer zerstört werden. Das ist frustrierend.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf eine einfache, hochreine Lösung zurückgegriffen haben: Quarz-Infrarotlampen in Kombination mit speziellen PTFE-isolierten Leitungen.
Warum das funktioniert
Wir verwenden für die Lampenhüllen hochreinen synthetischen Quarz. Der Grund dafür ist einfach: Er „raucht“ nicht und zerfällt auch nicht, wenn es heiß wird. Er bleibt einfach an seinem Platz und erfüllt seine Funktion, ohne auf irgendetwas zu reagieren.
Was die Leitungen angeht, so verwenden wir ausschließlich PTFE-isolierte Leitungen. Warum? Weil es das einzige Material ist, das bei hohen Temperaturen nicht zu Staub oder Gasen zerfällt. Wenn man versucht, PVC oder Silikon zu verwenden, löst das alle Alarme im Reinraum aus. Zudem entstehen dadurch Kontaminanten auf dem Substrat – das ist nicht gut.
Der schwierige Teil: Die Installation
Um eine effektive Heizung zu schaffen, müssen wir alles so kompakt wie möglich gestalten. Wir möchten, dass die Wärmequelle so nah wie möglich am Zielort ist. Doch dadurch entsteht ein Problem: Die Hitze kann die Leitungen schädigen. Man darf die Leitungen also nicht direkt auf den Quarz setzen – sonst schmelzen sie. Man benötigt daher einen kleinen Luftspalt oder eine Keramikabstandshalterung, damit die Leitungen etwas Raum haben.
Außerdem achten wir sehr genau auf die Leistungsaufnahme. Es ist verlockend, die Leistung zu erhöhen, um schneller zum gewünschten Ergebnis zu kommen – doch das ist riskant. Zu viel Energie belastet die Quarzdichtungen stark.
Fazit
Letztendlich möchte man einfach eine Heizanlage, die zuverlässig funktioniert und das Leben nicht unnötig erschwert. Mit diesem Ansatz erhalten Sie eine Lösung, die perfekt passt – ohne Partikel, ohne seltsame Dämpfe und ohne plötzliche Anstiege der Partikelkonzentrationen. Ihre Produktivität bleibt hoch – und vor allem bleiben Ihre Sensoren ruhig.