Hören Sie auf, Energie in Ihren Halbleiterfabriken zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Der Energieverbrauch in Halbleiterfabriken ist nicht nur ein Kostenproblem – es handelt sich dabei um einen Designfehler. Wenn man die Wafer erhitzt, geht es nicht nur darum, dass sie heiß werden. Die Photonen müssen tatsächlich auf das Silizium treffen. Oft geht ein großer Teil der Energie einfach in das Gehäuse der Maschine ab und erwärmt dadurch den Raum anstelle des Produkts. Hier kommen die mit Gold beschichteten Reflektoren ins Spiel. Sie fungieren im Grunde wie Spiegel für die Wärme und lenken die Energie dorthin zurück, wo sie hingehört.
Warum Gold?
Herkömmliche Quarzlampen strahlen die Energie überallhin ab. Dadurch entsteht Unordnung – der größte Teil der Wärme gelangt in das Innere des Geräts und geht dort verloren. Mit einer dünnen Goldbeschichtung kann man die Art und Weise, wie die Oberfläche mit der Energie umgeht, verändern. Gold ist hervorragend darin, Infrarotstrahlung zu reflektieren – viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. So wird eine breit gestreute Wärmequelle in einen gezielten Strahl verwandelt. Dadurch entsteht mehr Effektivität und weniger Verschwendung.
Der Kompromiss (denn es gibt immer einen)
Wenn man die Energie so konzentriert, wird alles intensiver. Man erreicht die Zieltemperaturen schneller – was für die Produktionszyklen vorteilhaft ist. Doch hier kommt der Haken: All diese konzentrierte Energie belastet die Lampe stark. Wenn das Kühlsystem nicht ausreicht oder nicht für diese Art von thermischer Belastung geeignet ist, können die Glühfäden kaputt gehen. Bevor man diese Lampen in eine Hochdichtanordnung einsetzt, sollte man unbedingt die Luftzirkulation überprüfen. Das spart später Probleme.
In Betrieb nehmen
Die gute Nachricht ist: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt in die vorhandenen IR-Heizer eingebaut werden können. Man muss sie einfach in die bestehenden Steuergeräte anschließen – dann funktionieren sie bereits.
Achtung: Da die Goldbeschichtung verhindert, dass die Maschine die Umgebungswärme aufnimmt, ändert sich das thermische Profil. Man muss eventuell die PID-Schleifen anpassen, damit man die Temperatur nicht überschreitet.
Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch – und dadurch wird vermieden, dass man für Strom bezahlt, der die Wafer gar nicht erreicht.