Proč používáme infračervené zasychání při zpracování waferů
Pojďme mluvit o sušení a zasychání. Ve světě polovodičů jsme se většinou odpoutali od starých způsobů – víte, od intenzivního spalování a škodlivých chemických rozpouštědel. Místo toho využíváme technologii infračerveného záření.
Je to prostě čistší. Díky přímému vysílání energetického záření můžeme opustit procesy založené na olovi a zahřívání s vysokými emisemi. Je to jednodušší a ekologičtější způsob, jak dosáhnout výsledku, bez problémů spojených s životním prostředím.
Jak ve skutečnosti funguje teplo
Vzpomeňme si na konvekční troubu. Musí nejdřív ohřát veškerý vzduch uvnitř, než se jídlo skutečně ohřeje. To je plýtvání časem a energií.
Infračervené lampy jsou jiné. Posílají energii přímo na povrch waferu. Žádné velké jednotky na manipulaci s vzduchem, žádné čekání. Používáme krátkovlnné a střednovlnné infračervené záření, protože to působí přesně tam, kde je to potřeba, aniž by došlo k poškození substrátu. Je to cílené. A protože je to přesné, spotřebovávají tyto lampy mnohem méně energie.
Rovnováha mezi vzdáleností a hustotou
Je důležité správně nastavit vzdálenost mezi lampou a waferem. Je to trochu jako chůze po laně.
Pokud umístíte lampy příliš blízko, vzniknou „horká místa“ nebo se okraje waferů spálí. Ale pokud je umístíte příliš daleko, energie se prostě ztratí v místnosti.
Věnujeme hodně času kalibraci na základě výkonu a vlnové délky kvartové trubice. Lampy s vysokým výkonem jsou silné, ale musíte se ujistit, že váš chladicí systém dokáže zvládnout odraženou energii. Pokud ne, lampa se prostě spálí.
Kompromisy
Nejlepší věc na infračerveném zasychání je, že se jedná o „suchý“ proces. Nemusíte se zabývat VOCemi nebo čištěním odpadních plynů obsahujících olovo. Vaše filtrační systémy jsou tak mnohem jednodušší na obsluhu.
Je tu však jeden problém. Když lampy poprvé začnou pracovat, dojde k prudkému nárůstu výkonu. Potřebujete stabilní zdroj napájení, abyste nezažili pokles napětí ve chvíli, kdy začnou topné elementy fungovat.
Ale jakmile dosáhnete požadované teploty, vše se urychlí. Doba cyklu se zkrátí a spotřebujete méně kWh na jeden wafer. Je to prostě efektivnější.