Proč opouštíme staré pece ve prospěch zahřívání pomocí infračerveného záření
Po dlouhou dobu se výroba polovodičů spoléhala na ty obrovské konvekční pece. Ale upřímně řečeno – jsou to už jen relikvie. Nyní přecházíme k zahřívání pomocí infračerveného záření. Hlavním důvodem je to, že to skutečně umožňuje dosáhnout těch „zelených“ a bezolovnatých výsledků, po kterých všichni v současnosti usilují.
Místo toho, aby se kolem waferu foukal horký vzduch, infračervené záření využívá elektromagnetické vlny. Ty působí přímo na povrch waferu – bez jakýchkoli prostředníků.
Umístění tepla tam, kde opravdu potřebujeme
Představte si, jak funguje konvekční pec. Nejprve se zahřívá vzduch, a ten potom zahřívá wafer. Je to plýtvání energií.
Infračervené záření je jiné. Vyhneme se tomu všemu. Fotony působí přímo na vrstvu fotoresistu nebo rozpouštědla a okamžitě vyvolají reakci. Nejlepší na tom je, že už nemusíme používat ty škodlivé toxické katalyzátory a stabilizátory na bázi olova, které byly dříve běžné.
Obvykle používáme krátkovlnné infračervené záření – má největší účinek. Protože teplo působí velmi silně a rychle, wafer tráví mnohem méně času v zóně zahřevu. Méně času pod lampou znamená nižší náklady na energii. Jednoduché.
Složitá část – inženýrství
Nelze prostě vyndat starý ohřívač a nahradit ho infračervenou lampou. Nefunguje to tak.
Tyto lampy vydávají obrovské množství tepla. Pokud vaše zařízení není na to stavěno, vaše senzory se zkazí a elektronika se roztaví. Potřebujete tedy robustní chladicí systém, aby zbytek hardwaru nebyl poškozen.
A pak je tu ještě problém nadměrného zahřívání. Pokud se pás dopravy pohybuje příliš pomalu, tenké waify se zkřiví. Je to otázka vyvážení – musíte upravit výkon lampy a rychlost pásu, aby teplotní profil byl správný.
Ochrana planety
Výhodou infračerveného záření je, že nevyužívá spalovací plyny. Z ohřívacího prvku nevycházejí žádné VOC.
Když snížíte dobu sušení z minut na sekundy, snížíte tak svůj uhlíkový otisk. Je to skvělý způsob, jak nahradit ty staré, netěsné termální tunely, které spotřebovávají hodně energie a proměňují čistou místnost v saunu.