Sušení desek senzorů MEMS po chemickém čištění je velmi nebezpečný proces. Proč? Protože v podstatě hrajete si s ohněm. Když se ve vzduchu nacházejí hořlavé nebo výbušné chemické páry, běžná infračervená lampa není jen nástrojem – je to spíše zdroj nebezpečí. Stačí jeden drobný jiskra nebo jedno horké místo na kontaktech a máte problém. Je to noční můra, která znepokojuje vedoucí továren.
Zastavení vzniku jisker
Rozhodli jsme se přestat používat lampy umístěné venku. Místo toho jsme křemíkovou trubičku umístili do uzavřené, chemicky odolné obálky. Představte si to jako ochranný kokon – ten zcela izoluje elektrické kontakty od okolního vzduchu. To znamená, že ty volatilní organické sloučeniny nemohou ani přijít blízko k napájeným kontaktům.
Obvykle právě u těchto uzávěrů vznikají problémy – praskají, prosakují, selhávají. Abychom to vyřešili, používáme fluor elastomerní těsnění, která vydrží konstantní zahřívání a chlazení bez znehodnocení. Také vybíráme těsnění pro konkrétní tlakové rozdíly – protože pokud těsnění selže, páry se dostanou dovnitř. A to rozhodně nemůžeme dopustit.
Rovnováha teplot
Používáme krátkovlnné infračervené světlo. To rychle působí na povrch desky, což znamená, že deska stráví mnohem méně času v té „nebezpečné zóně“. Načasovali jsme výkon tak, aby kapaliny rychle odpařily, ale substrát se přitom ne přehřál.
Ale je tu jeden problém: Jelikož je lampa uzavřená, teplo neuniká do vzduchu, jak je tomu u otevřené lampy. Zůstává uvnitř. To znamená, že lampa funguje za vyšší teploty. Musíte tedy pečlivě nastavit systém chlazení, jinak může dojít k poškození křemíku nebo těsnění.
Vhodnost pro použití
Nejlepší na tom je, že tyto komponenty lze použít jako náhrady za vaše stávající sušicí moduly. Jelikož je zdroj tepla izolován, nemusíte kolem celého zařízení stavět obrovskou, objemnou nádobu proti výbuchům. Váš prostor zůstane malý, pracoviště čisté, a vy můžete konečně volně dýchat – víte totiž, že zařízení nevybuchne.