ফ্যাব ফ্লোরে, বেক প্রোফাইল শিফট হয়—এবং উৎপাদন ক্ষতিগ্রস্ত হয়। প্রচলিত এমিটারেরা ওয়েফারের উপর তাপমাত্রা ধরে রাখতে পারে না। ফলে আপনি ফলে দেখতে পাবেন যে প্রান্তগুলি কম পরিপক্ক হয়েছে, যখন কেন্দ্রটি উত্তপ্ত থাকে। এই পরিবর্তন সময়, শক্তি এবং ভাল ডাইয়ের ক্ষতি করে।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে কী গুরুত্বপূর্ণ
আমরা একটি সিরামিক এন্ড ক্যাপ IR এমিটার ব্যবহার করি যা সাব-মিলিমিটার সমান তাপ বিতরণ করে। এর ফলস্বরূপ, ওয়েফার স্তরের তাপীয় সমতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। সিরামিক শরীর এমিশন স্টেবিল রাখে এবং দ্রুত তাপমাত্রায় পৌঁছায়, এবং প্রকৌশলগত জ্যামিতি তাপীয় ক্ষেত্রকে প্রক্রিয়া উইন্ডোতে ফিট করতে আকৃতির করে। নরম বেক থেকে হার্ড বেক, প্রোফাইলটি পুনরাবৃত্তি হয়—লট থেকে লট, টুল থেকে টুল। সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে বসানো থাকে এবং কণার সংখ্যা বৃদ্ধি করতে পারে না, এবং সিরামিক নির্মাণ ফটোরেসিস্টকে দূষিত করতে গ্যাস নির্গত করবে না।
কেন এটি লিথোগ্রাফিতে কাজ করে
লিথোগ্রাফিতে, আপনাকে তাপমাত্রা দরকার যা রেসিপির অনুসরণ করে, ঘরের নয়। এই এমিটার বেক সাইকেল ধরে রাখে, তাই গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি স্পেকের মধ্যে থাকে। পুনঃকাজ কমে যায়। স্ক্র্যাপ কমে যায়। লাইনের প্রস্থ নিয়ন্ত্রণ সঠিক থাকে। শক্তির ব্যবহার কমে যায় কারণ আমরা লক্ষ্য অঞ্চলকে উত্তপ্ত করি, চারপাশের ব্যবস্থা নয়। এবং দীর্ঘ জীবন এবং স্থিতিশীল আউটপুটের সাথে, আপনি অপ্রত্যাশিত বন্ধের সংখ্যা কম দেখেন এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময়কালও ছোট হয়।
বিশদ যা আপনাকে ক্ষতি করে
স্থাপনটি সঠিকভাবে সজ্জিত হওয়া—ওয়েফার প্লেনের সঠিকতা—এবং একটি পরিষ্কার তাপীয় ইন্টারফেসের উপর নির্ভর করে। মিলিমিটারের একটি অংশের দ্বারা মিস করলে গরম স্থানের স্থান পরিবর্তন হয়। এমিটারের সাথে আপনার চেম্বারের জ্যামিতি মেলান এবং নিশ্চিত করুন যে আপনার কন্ট্রোলার ক্লোজড-লুপ ওয়েভলেংথ সেন্সিং সমর্থন করে। তাপীয় স্থিতিশীলতার জন্য উষ্ণ হওয়া প্রতিরোধক হিটারগুলির চেয়ে কিছুটা দীর্ঘ সময় নেয়। একবার আপনি সেখানে পৌঁছালে, প্রোফাইলটি স্থির থাকে—শিফটের পর শিফট।