300mm লাইনে, ফটোরেজিস্ট বেক প্রক্রিয়া হল যেখানে আপনি তাপীয় বাজেট নির্ধারণ করেন। গরম বা ঠান্ডা প্রান্ত, হার্ড বেকের সময় ড্রিফট, এবং আপনার CD ইউনিফর্মিটি ভেঙে পড়ে—স্ক্র্যাপ জমা হয় যখন শিডিউলার একই লট বারবার চালিয়ে যেতে থাকে। আমরা 300mm ওয়াফার IR হিটিং মডিউল তৈরি করেছি যাতে এই পরিবর্তনশীলতা নিয়ন্ত্রণে রাখা যায়।
যা আসলেই গুরুত্বপূর্ণ
300mm ওয়াফারের উপর সমান তাপ বিতরণ শুরু হয় শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার অ্যারে এবং কোয়ার্টজ ভিত্তিক তাপীয় ডিজাইনের মাধ্যমে, যা পুরো সারফেস জুড়ে ±0.1°C এর মধ্যে ওয়াফার-লেভেল ইউনিফর্মিটি বজায় রাখে। তাপমাত্রার র্যাম্পগুলি পুনরাবৃত্তিযোগ্য, তাই সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলগুলি প্রতিটি ব্যাচে রেসিপির সাথে সঠিকভাবে মিল থাকে। মডিউলটি Class 1–100 ক্লিনরুমে চলতে পারে কোনো কণা সৃষ্টি ছাড়াই—সীল করা এমিটার, নিষ্ক্রিয় কোয়ার্টজ পাথ, এবং ক্লিনরুম-সমর্থিত ফিক্সচার কণার উৎপাদন শূন্যে রাখে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব হলো: বেক শুধুমাত্র তাপ দেওয়া নয়, এটি প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ। মডিউলটি 7×24 অপারেশনে সেটপয়েন্ট ধরে রাখে কোনো অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম ছাড়াই, তাই আপনি তাপীয় ড্রিফট ছাড়া ধারাবাহিক লট চালাতে পারেন। এর ফলে CD স্থিতিশীল থাকে, পুনরায় কাজের প্রয়োজন কমে, এবং উৎপাদন পরিকল্পনা করা সহজ হয়। এটি কার্যকরও—এমিটার অ্যারে শুধুমাত্র নির্দিষ্ট এলাকায় দ্রুত প্রতিক্রিয়ায় তাপ প্রদান করে, এবং দীর্ঘ সার্ভিস ইন্টারভাল রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমা সংকীর্ণ রাখে।
আপনি এটি নির্দিষ্ট করার আগে কয়েকটি ব্যবহারিক নোট: মডিউলটি বিদ্যমান ট্র্যাক এবং বেক প্লেটের সাথে ইন্টিগ্রেট হয়, তবে এটি একটি নির্দিষ্ট পাওয়ার সার্কিট এবং ইন্টারফেসে কুল্যান্টের তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা যাচাই প্রয়োজন। আপনার ক্যারিয়ার এবং বেক প্লেটের তাপীয় ভরের মিল অপরিহার্য; সামান্য পার্থক্যও প্রান্ত থেকে প্রান্তে ভিন্নতা হিসেবে প্রকাশ পায়। মেকানিক্যাল এনভেলপ এবং ক্লিনরুম ক্লিয়ারেন্স আগে থেকেই নির্ধারণ করুন, তখন এটি নির্দিষ্ট অনুযায়ী চলবে।