http://ir-heater-tech.com/zh/tags/%E4%B8%AD%E7%AD%89/ Recent content in 中等 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo zh Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/zh/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/zh/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="晶圆用中波红外加热器"></p> <p>在光刻车间，烤箱灯亮起，钟铃升起，你等待晶圆达到设定点。不是“接近”，而是设定点。每一次运行都是如此。</p> <p>软烘烤偏移会改变光刻胶的粘度和驻波行为。硬烘烤不均匀会在边缘留下残余物，改变反射凹槽深度，并将CD控制变成日常的挑战。当热均匀性出现偏差时，你开始不信任设备，追逐异常而不是正常运行工艺窗口。</p>