Bộ sưởi hồng ngoại sóng trung cho wafer

Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800

Trên tầng lithography, đèn lò bật lên, chuông nâng lên, và bạn chờ wafer đạt điểm đặt. Không phải “gần đạt.” Mà là điểm đặt. Mỗi lần chạy. Một lần soft bake lệch sẽ thay đổi độ nhớt của resist và hành vi sóng đứng. Một lần hard bake không đồng đều để lại dư lượng ở mép, làm thay đổi độ sâu notch phản xạ, và biến việc kiểm soát CD thành một cuộc chiến hàng ngày. Khi tính đồng đều nhiệt không ổn định, bạn ngừng tin tưởng vào thiết bị. Bạn bắt đầu đi theo các dao động thay vì vận hành trong cửa sổ quy trình. Bộ gia nhiệt hồng ngoại bước sóng trung bình được thiết kế cho giới hạn đó: cung cấp nhiệt độ lặp lại với kiểm soát không gian dưới millimeter của trường nhiệt.

Trung Bình on Cutting-Edge IR Heating Technology

Bộ sưởi hồng ngoại sóng trung cho wafer