ہم ویفروں کی پروسیسنگ کے لئے انفراریڈ تکنالوجی کیوں استعمال کرتے ہیں؟
آیئے، خشک کرنے اور علاج کرنے کے عمل کے بارے میں بات کرتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر صنعت میں، ہم نے پرانے طریقوں کو ترک کردیا ہے – یعنی شدید حرارت اور خطرناک کیمیائی مواد کا استعمال۔ اس کے بجائے، ہم انفراریڈ تکنالوجی کا استعمال کرتے ہیں۔
یہ طریقہ زیادہ صاف ستھرا ہے۔ براہ راست تابکاری کے ذریعہ، ہم لیڈ پر مبنی عملوں اور زیادہ حرارت پیدا کرنے والے طریقوں سے چھٹکارہ پا سکتے ہیں۔ یہ ایک آسان، ماحول دوست طریقہ ہے۔
حرارت کس طرح کام کرتی ہے؟
کنوکشن اوون کے بارے میں سوچیں۔ اسے کھانے کے گرم ہونے سے پہلے ہی اندر کی ہوا کو گرم کرنا پڑتا ہے۔ یہ وقت اور توانائی کا ضیاع ہے۔
انفراریڈ لیمپ الگ ہیں۔ یہ توانائی کو براہ راست ویفر کی سطح پر بھیجتے ہیں۔ کوئی بڑے ایئر ہینڈلنگ یونٹوں کی ضرورت نہیں، اور نہ ہی انتظار کرنے کی ضرورت ہے۔ ہم شارٹ-ویو اور میڈیم-ویو انفراریڈ کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ توانائی کو بالکل درست جگہ پر پہنچاتا ہے، بغیر سبسٹریٹ کو جلانے کے۔ یہ بہت درست طریقہ ہے، اور اس کی وجہ سے طاقت کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔
فاصلہ اور کثافت کا توازن
لیمپ اور ویفر کے درمیان مناسب فاصلہ رکھنا بہت اہم ہے۔ اگر لیمپوں کو بہت قریب رکھا جائے، تو ویفر کے کنارے جل سکتے ہیں۔ لیکن اگر انہیں بہت دور رکھا جائے، تو حرارت بیکار ہی خرچ ہو جاتی ہے۔
ہم قوارتز ٹیوب کی واٹیج اور طول موج کی بنیاد پر اس کو کیلیبریٹ کرنے میں بہت وقت صرف کرتے ہیں۔ اعلی واٹیج والے لیمپ بہت طاقتور ہوتے ہیں، لیکن آپ کو یقین کرنا ہوگا کہ آپ کا کولنگ سسٹم اس توانائی کو سنبھال سکتا ہے۔ ورنہ لیمپ خود ہی جل جائے گا۔
فوائد اور نقصانات
انفراریڈ تکنالوجی کا بہترین پہلو یہ ہے کہ یہ ایک “خشک” عمل ہے۔ آپ کو VOCs یا لیڈ سے آلودہ گیسوں سے نمٹنے کی ضرورت نہیں ہے۔ آپ کا فلٹریشن سسٹم بھی زیادہ آسان ہو جاتا ہے۔
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ جب لیمپ شروع ہوتے ہیں، تو بہت زیادہ توانائی پیدا ہوتی ہے۔ آپ کو ایک مستحکم پاور سپلائی کی ضرورت ہے، تاکہ ہیٹر شروع ہوتے ہی وولٹیج میں کمی نہ آئے۔
لیکن جب درجہ حرارت مناسب ہو جاتا ہے، تو سب کچھ تیز ہو جاتا ہے۔ سائیکل ٹائم کم ہو جاتا ہے، اور ہر ویفر کے لئے کم بجلی استعمال ہوتی ہے۔ یہ بہت ہی موثر طریقہ ہے۔