http://ir-heater-tech.com/uk/tags/%D1%96%D1%80/ Recent content in ІР on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo uk Tue, 09 Jun 2026 01:25:58 +0800 http://ir-heater-tech.com/uk/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Tue, 09 Jun 2026 01:25:58 +0800 http://ir-heater-tech.com/uk/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Керамічна торцева кришка для ІЧ випромінювача"></p> <p>На виробничому майданчику профілі випікання змінюються — і вихід продукції страждає. Звичайні випромінювачі не можуть підтримувати температуру по всій пластині. Крайки отримують недостатнє пропікання, тоді як центр перегрівається. Така варіабельність призводить до втрат часу, енергії та придатних плашок.</p> <h2 id="що-має-значення-з-технічної-точки-зору">Що має значення з технічної точки зору</h2> <p>Ми використовуємо інфрачервоний випромінювач із керамічною кришкою, який забезпечує субміліметрову рівномірність нагріву. В результаті досягається теплова однорідність по пластині в межах ±0.1°C. Керамічний корпус стабілізує емісивність і швидко реагує на зміну температури, а спеціально розроблена геометрія формує теплове поле, що відповідає робочому вікну процесу.</p> http://ir-heater-tech.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Рівномірний нагрів для 300 мм пластини ІЧ"></p> <p>На лінії 300mm випікання фоторезисту — це момент закріплення теплового бюджету. Гарячий або холодний край, дрейф під час жорсткого випікання — і однорідність CD руйнується, відходи накопичуються, а планувальник продовжує запускати ту саму партію. Ми створили IR-модуль нагрівання ваферів 300mm, щоб виключити цю змінність з рівняння.</p> <p><strong>Що насправді має значення</strong></p> <p>Отримання рівномірного нагріву по всій поверхні вафера 300mm починається з масиву короткохвильових інфрачервоних випромінювачів і кварцевої теплової конструкції, що підтримує однорідність по ваферу в межах ±0.1°C на всій площі. Температурні режими відтворювані, тому профілі soft bake і hard bake точно відповідають рецепту, партія за партією. Модуль працює в чистих приміщеннях класу 1–100 без додавання часток — запечатані випромінювачі, інертні кварцеві канали і сумісні з чистими кімнатами кріплення утримують генерацію часток на нулі.</p>