http://ir-heater-tech.com/uk/tags/%D1%83%D0%BD%D1%96%D1%84%D0%BE%D1%80%D0%BC%D0%B0/ Recent content in Уніформа on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/uk/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Рівномірний нагрів для 300 мм пластини ІЧ"></p> <p>На лінії 300mm випікання фоторезисту — це момент закріплення теплового бюджету. Гарячий або холодний край, дрейф під час жорсткого випікання — і однорідність CD руйнується, відходи накопичуються, а планувальник продовжує запускати ту саму партію. Ми створили IR-модуль нагрівання ваферів 300mm, щоб виключити цю змінність з рівняння.</p> <p><strong>Що насправді має значення</strong></p> <p>Отримання рівномірного нагріву по всій поверхні вафера 300mm починається з масиву короткохвильових інфрачервоних випромінювачів і кварцевої теплової конструкції, що підтримує однорідність по ваферу в межах ±0.1°C на всій площі. Температурні режими відтворювані, тому профілі soft bake і hard bake точно відповідають рецепту, партія за партією. Модуль працює в чистих приміщеннях класу 1–100 без додавання часток — запечатані випромінювачі, інертні кварцеві канали і сумісні з чистими кімнатами кріплення утримують генерацію часток на нулі.</p>