Чому ми використовуємо інфрачервоне випромінювання для обробки пластин
Давайте поговоримо про процеси сушіння та висихання. У світі напівпровідників ми вже давно відмовилися від старих методів – з використанням інтенсивного горіння та шкідливих хімічних розчинників. Замість цього ми використовуємо технологію інфрачервоного випромінювання.
Цей метод є більш екологічним. Завдяки прямому використанню випромінювальної енергії можна уникнути використання ртутних речовин та процесів нагрівання з високим рівнем викидів. Це простіший та екологічніший спосіб виконання завдання без проблем, пов’язаних із негативним впливом на навколишнє середовище.
Як насправді працює тепло
Уявіть собі конвекційну духовку – їй потрібно спочатку нагріти всій повітря всередині, перш ніж їжа стане теплою. Це є марною трата часу та енергії.
Інфрачервоні лампи працюють по-іншому. Вони передають енергію безпосередньо на поверхню пластини. Не потрібні складні системи для обробки повітря, не потрібно чекати. Ми використовуємо короткохвильове та середньохвильове інфрачервоне випромінювання, оскільки воно досягає саме тих місць на поверхні пластини, де це необхідно, не спричиняючи пошкоджень матеріалу. Це дозволяє економити енергію.
Баланс між відстанню та щільністю
Критично важливим є правильне вибрання відстані між лампою та пластиною. Якщо лампи розташовані занадто близько, можуть виникнути „гарячі точки“, а краї пластин можуть бути пошкоджені. Але якщо лампи розташовані занадто далеко, енергія просто витрачається даремно.
Ми витрачаємо багато часу на налаштування цього параметру, враховуючи потужність кварцової трубки та довжину хвилі. Лампи з високою потужністю дають хороші результати, але необхідно переконатися, що система охолодження може впоратися з енергією, яка відбивається від лампи. Інакше лампа просто перегорить.
Переваги та недоліки
Найкращою перевагою використання інфрачервоного випромінювання є те, що це „сухий“ процес. Не потрібно мати справу з органічними речовинами чи очищувати вихлопні гази, що містять ртуть. Система фільтрації стає значно простішою у керуванні.
Але є один недолік: коли лампи починають працювати, спостерігається значний підйом потужності. Тож необхідна стабільна подача енергії, щоб уникнути зниження напруги у момент початку роботи ламп.
Але як тільки температура досягає необхідного рівня, все прискорюється. Час обробки скорочується, а енергія, яка використовується на обробку однієї пластини, також зменшується. Це значно ефективніше.