Припиніть чекати – інфрачервоне нагрівання є ідеальним рішенням для вашого виробничого процесу
Більшість старих ліній з виробництва полупровідників все ще використовують метод примусового нагріву повітрям. Цей процес є дуже повільним: потрібно нагріти всю камеру, а потім просто чекати, поки пластинка нагріється через конвекцію. Це значно уповільнює виробництво.
Ми робимо все по-іншому. Ми замінюємо обичайні вентилятори на лампи інфрачервоного випромінювання, які розташовані за захисними екранами з кварцового скла.
Справжня ціна очікування
Повітря є повільним провідником тепла. Повітря навколо деталі фактично діє як ковдра, яка ізолює її та уповільнює процес нагрівання.
Інфрачервоне випромінювання не залежить від повітря. Фотони проходять прямо від філамента до об’єкта нагрівання. Це відбувається миттєво.
Уявіть собі: якщо можна скоротити час нагрівання з 10 хвилин до 30 секунд на одну партію продукції, то це значно прискорить виробництво.
Секрет полягає у кварці
Можливо, ви запитаєте, чому ми використовуємо захисні екрани з кварцового скла. Стандартне скло просто розплавиться чи трісне при повній потужності ламп.
Кварц є іншим матеріалом – він може витримувати високі температури та дозволяє короткохвильовому інфрачервоному випромінюванню пройти крізь себе. Крім того, кварц захищає філамент лампи від будь-яких хімічних речовин, які знаходяться в камері.
А ще є одна перевага: якщо захисний екран забрудниться через продукти обробки, достатньо просто замінити кварцову трубку. Не потрібно годинами налаштовувати всю систему.
Кілька зауважень
Це не так просто, як здається. Оскільки інфрачервоне нагрівання є дуже інтенсивним, це створює значний навантаження на систему охолодження. Не можна просто поставити ці лампи в стару систему конвекційного охолодження та сподіватися на краще.
Потрібно перевірити систему охолодження. Якщо вона не може витримати навантаження, то це призведе до пошкодження обладнання.
Але як тільки всі налаштування будуть правильними, ви перестанете марнувати енергію на нагрівання повітря та почнете використовувати цю енергію для нагрівання самої деталі.