На лінії 300 мм достатньо напівградусного зсуву під час процедури висушування фотополімеру, щоб хороший продукт перетворився на непридатний. Саме по собі зменшення допусків у роботі сканера не допоможе вирішити цю проблему. Процедура висушування повинна виконуватися на належному рівні.
Ми створили інфрачервону лампу з вбудованим повітряним ножем для боротьби з двома основними проблемами: тепловим зсувом та забрудненням. Обидва фактори погіршують точність процесу ще до того, як їх можна буде помітити на графіках.
Що є важливим у цьому пристрої Пристрій поєднує короткохвильовий інфрачервоний випромінювач з повітряним ножем, який знаходиться безпосередньо поруч з ним. Лампа швидко нагріває поверхню, при цьому контролюється спектр випромінювання. Це дозволяє контролювати теплові ефекти та їх вплив на поверхню.
Рівномірність температури по всій поверхні пластини підтримується на рівні ±0,1°C. Ми перевіряємо це за допомогою місцевого картування, а не шляхом оцінки даних з одного датчика. Повітряний ніж створює ламінарний потік повітря, який видаляє частинки та вологу з поверхні, а потім виводить їх з камери. Кількість частинок залишається в межах класу чистоти 1–100.
Результатом є стабільні температурні умови під час процедури висушування, контроль критичних розмірів та менше необхідності переробки продукції.
Чому це ефективно у літографії Обробка фотополімеру є складною процедурою – вона чутлива до температурних умов та забруднень у повітрі. Цей пристрій швидко досягає потрібної температури, тож час простою зменшується, а параметри процесу залишаються стабільними.
Усі матеріали сумісні з умовами чистої кімнати, а система подачі повітря є герметичною, тож не відбувається викиду парів чи частинок. Витрати енергії менші, ніж у конвекційних печах, оскільки енергія йде безпосередньо на поверхню пластини, а не на стінки камери.
Надійність пристрою забезпечується завдяки можливості його безперервної роботи протягом 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Це дозволяє забезпечити 24/7 роботу без неспланованих зупинок.
Практичні деталі, які не можна ігнорувати Для встановлення пристрою необхідна окрема система відведення повітря, а також необхідно перевірити якість подачі повітря. Якщо фільтрація є недостатньою, частинки знову потраплять на поверхню пластини.
Лампа працює найкраще, коли є чіткий вид на поверхню пластини. Тож необхідно звернути увагу на геометрію приміщення, в якому знаходиться пристрій.
Необхідно налаштувати тиск повітря в межах заданих параметрів. Занадто високий тиск може пошкодити фотополімер, а занадто низький – не дозволить ефективно видалити частинки. Також необхідно підібрати спектр випромінювання лампи так, щоб він відповідав профілю поглинання фотополімером. Це дозволить досягти максимальної рівномірності.