http://ir-heater-tech.com/tr/tags/orta/ Recent content in Orta on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo tr Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/tr/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/tr/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Orta dalga kızılötesi ısıtıcı wafer için"></p> <p>Litografi katında, fırın ışığı yanar, zili kaldırılır ve wafer’ın setpoint’e ulaşması beklenir. “Yaklaşması” değil. Setpoint. Her çalışma için. Kayma yapan bir soft bake, rezist viskozitesini ve durgun dalga davranışını değiştirir. Homojen olmayan bir hard bake, kenar kalıntılarına, yansıma çentik derinliğinin kaymasına neden olur ve CD kontrolünü günlük bir mücadele haline getirir. Termal uniformite bozulduğunda, araca güvenmek durur. Proses penceresini işletmek yerine sapmaların peşine düşmeye başlarsınız. Orta dalga kızılötesi ısıtıcılar, bu kısıtlamaya göre tasarlanmıştır: ısı alanının alt-milimetre düzeyinde mekansal kontrolü ile tekrarlanabilir sıcaklık sağlama.</p>