บนสายการผลิตขนาด 300mm การอบ photoresist เป็นขั้นตอนที่กำหนดงบประมาณความร้อนอย่างชัดเจน ขอบร้อนหรือเย็น การเลื่อนของอุณหภูมิในระหว่างการอบแข็ง จะทำให้ความสม่ำเสมอของ CD เสียหาย—ของเสียสะสมในขณะที่โปรแกรมจัดตารางงานยังคงดันล็อตเดียวกันต่อไป เราได้พัฒนาชุดโมดูลทำความร้อนด้วยอินฟราเรดสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300mm เพื่อขจัดความแปรปรวนนี้ออกจากสมการ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
การทำความร้อนให้สม่ำเสมอบนเวเฟอร์ขนาด 300mm เริ่มต้นด้วยชุดอาเรย์อิเมตเตอร์อินฟราเรดคลื่นสั้นและการออกแบบความร้อนด้วยควอตซ์ซึ่งรักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิว การปรับเปลี่ยนอุณหภูมิทำได้ซ้ำได้ ดังนั้นโปรไฟล์การอบแบบ soft bake และ hard bake จะตรงกับสูตรอย่างแม่นยำในทุกชุด โมดูลนี้ทำงานได้ในห้องสะอาด Class 1–100 โดยไม่เพิ่มการปนเปื้อน—อิเมตเตอร์ที่ปิดผนึก เส้นทางความร้อนควอตซ์ที่เป็นกลาง และอุปกรณ์ที่เข้ากันได้กับห้องสะอาดช่วยให้การเกิดฝุ่นเป็นศูนย์
เหตุผลที่สิ่งนี้มีความสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟีคือ การอบไม่ใช่แค่การให้ความร้อน แต่เป็นการควบคุมกระบวนการ โมดูลสามารถรักษาอุณหภูมิที่ตั้งไว้ได้ตลอดการทำงาน 7×24 ชั่วโมงโดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ทำให้สามารถรันล็อตต่อเนื่องได้โดยไม่มีการเลื่อนของอุณหภูมิ ผลลัพธ์คือ CD ที่เสถียร ลดการทำซ้ำ และผลผลิตที่สามารถวางแผนได้ นอกจากนี้ยังมีประสิทธิภาพ—อาเรย์อิเมตเตอร์ทำความร้อนเฉพาะพื้นที่เป้าหมายด้วยการตอบสนองที่รวดเร็ว และระยะเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวนานช่วยให้เวลาหยุดซ่อมสั้นลง
หมายเหตุเชิงปฏิบัติก่อนการกำหนดสเปค โมดูลสามารถรวมเข้ากับเส้นทางและแผ่นอบที่มีอยู่แล้วได้ แต่ต้องใช้วงจรกำลังไฟเฉพาะ และต้องมีการตรวจสอบความเสถียรของอุณหภูมิน้ำหล่อเย็นที่จุดเชื่อมต่อ การจับคู่มวลความร้อนของตัวพาเวเฟอร์และแผ่นอบเป็นสิ่งที่ต้องทำอย่างเคร่งครัด แม้ความแตกต่างเล็กน้อยก็จะแสดงผลเป็นความแปรผันจากขอบถึงขอบ ให้แน่ใจว่าขนาดกลไกและระยะห่างในห้องสะอาดถูกกำหนดไว้ตั้งแต่ต้น และโมดูลจะทำงานตามสเปคอย่างแม่นยำ