http://ir-heater-tech.com/ru/tags/300-%D0%BC%D0%BC/ Recent content in 300 Мм on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Равномерный нагрев для ИК пластинки диаметром 300 мм"></p> <p>На линии 300 мм процесс отверждения фоторезиста — это этап, где фиксируется тепловой бюджет. Горячий или холодный край, дрейф во время жёсткой отверждения — и равномерность CD нарушается, брак накапливается, а планировщик продолжает запускать тот же лот. Мы разработали IR-модуль инфракрасного нагрева для пластин 300 мм, чтобы исключить эту вариативность из уравнения.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong></p> <p>Обеспечение равномерного нагрева по всей поверхности пластины 300 мм начинается с массива излучателей коротковолнового инфракрасного диапазона и кварцевой термодизайнерской конструкции, которая поддерживает однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины. Температурные циклы повторяемы, поэтому профили мягкого и жёсткого отверждения точно соответствуют рецептам, партия за партией. Модуль работает в чистых помещениях класса 1–100 без генерации частиц — герметичные излучатели, инертные кварцевые каналы и совместимая с чистыми помещениями конструкция креплений обеспечивают нулевой уровень загрязнения.</p>