http://ir-heater-tech.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ru Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Инфракрасная лампа для отверждения фотополимера"></p> <p>На производственной площадке термический режим, необходимый для литографии, начинается с процедур мягкой и жесткой обработки пластины. Даже небольшое изменение температуры в 1,5°C или наличие «холодных зон» на поверхности пластины может привести к значительным изменениям её критических размеров. Именно поэтому возникает необходимость выбрасывать целые партии готовой продукции и приостанавливать производство.</p> <p>Мы разработали инфракрасные лампы для высыхания фоторезиста, которые помогают сохранять стабильный термический профиль в течение всего процесса производства.</p> <p>На самом деле важен контроль на уровне самой пластины. Наш источник НИР-излучения быстро передает энергию прямо в фоторезист, что позволяет поддерживать однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Корпус лампы изготовлен из кварца, а отражатели имеют высокую чистоту; благодаря этому лампа может работать в условиях класса чистоты 1–100 без образования частиц.</p>