Запасная нить для лампы Fab

Thu, 18 Jun 2026 01:32:54 +0800

На производственном участке процесс мягкой обработки кристаллов – это не просто ещё один этап производства; это фактически «термический крепеж» всей системы литографии. Даже незначительное изменение температуры на уровне 0,5°C может привести к смещению параметров контроля качества. Это в свою очередь приводит к изменениям ширины линий на поверхности кристалла, что негативно сказывается на качестве готовой продукции. Лампы от производителей могут выдавать нужную мощность, но только специально разработанные заменители филаментов обеспечивают необходимую стабильность параметров процесса.

Что важно при использовании заменителей филаментов Нашие заменители филаментов предназначены для использования с галогеновыми и кварцевыми источниками тепла. Их спектр излучения соответствует кривой поглощения светочувствительных веществ. Мы обеспечиваем термическую однородность по всей поверхности кристалла на уровне ±0,1°C, а стабильность мощности остается в пределах 0,3% в течение всего срока службы. Геометрия и интерфейс подключения также контролируются с высокой точностью, чтобы выравнивание лампы с камерой сохранялось снова и снова.

Филамент on Cutting-Edge IR Heating Technology

Запасная нить для лампы Fab