http://ir-heater-tech.com/ru/tags/%D0%B2%D0%B0%D1%84%D0%B5%D0%BB%D1%8C/ Recent content in Вафель on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ru Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ru/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Средневолновой инфракрасный нагреватель для пластин"></p> <p>На литографическом этаже загорается лампа печи, поднимается колокол, и вы ждёте, пока пластина не достигнет заданной точки. Не «почти». Заданной точки. Каждый цикл. Мягкий отжиг с дрейфом меняет вязкость резиста и поведение стоячих волн. Жёсткий отжиг с неоднородностью оставляет остатки на краях, изменяет глубину отражательного «выемки» и превращает управление CD в ежедневную борьбу. При нарушении тепловой однородности вы перестаёте доверять оборудованию. Начинаете гнаться за отклонениями вместо того, чтобы работать в технологическом окне. Инфракрасные нагреватели средневолнового диапазона были созданы для этой задачи: повторяемая подача температуры с субмиллиметровым пространственным контролем теплового поля.</p>