Хватит ждать – инфракрасное нагревание – это идеальное решение для ваших производственных линий
Большинство старых производственных линий по производству полупроводников до сих пор используют метод нагрева с помощью горячего воздуха. Это медленный процесс: необходимо нагреть всю камеру, а затем просто ждать, пока пластина нагреется. По сути, вы ждете, пока произойдет конвективный нагрев, что значительно замедляет процесс производства.
Мы делаем все иначе. Вместо вентиляторов мы используем лампы инфракрасного излучения высокой интенсивности, расположенные за защитными кварцевыми стеклами.
Реальная цена ожидания
Горячий воздух работает медленно. Воздух, окружающий деталь, фактически действует как утеплитель, замедляя процесс нагрева.
Инфракрасное излучение не зависит от воздуха. Фотоны направляются напрямую от нитьки лампы к поверхности детали. Это происходит мгновенно.
Подумайте: если можно сократить время нагрева с 10 минут до 30 секунд на одну партию продукции, то проблема с задержками в производстве исчезнет. Это означает значительную экономию времени.
Секрет заключается в кварце
Возможно, вы задаетесь вопросом, зачем использовать кварцевые стекла. Стандартное стекло просто расплавится или треснет при полной мощности ламп. Кварц же способен выдерживать высокие температуры и позволяет кратковолновому инфракрасному излучению проходить сквозь него. Кроме того, кварц защищает нитьку лампы от химических веществ, находящихся в камере.
А самое лучшее – если защитный слой загрязнится, его можно просто заменить. Не нужно тратить часы на перепайку всей лампы.
Несколько моментов, на которые следует обратить внимание
Это не так просто, как кажется. Инфракрасное нагревание создает большую нагрузку на системы охлаждения. Нельзя просто установить эти лампы в старую систему конвекционного охлаждения и рассчитывать на хороший результат.
Необходимо проверить радиаторы охлаждения. Если они не справляются с нагрузкой, возможны проблемы с формой деталей. Но как только все настроено правильно, вы перестаете тратить энергию на нагрев воздуха и начинаете направлять тепло прямо на деталь.