Lâmpada de aquecimento de água ultra pura

Wed, 24 Jun 2026 01:28:52 +0800

Na linha de 300 mm, uma variação de temperatura de meio grau durante o processo de aquecimento é suficiente para fazer com que as dimensões críticas das bolachas fotolíticas fiquem fora dos padrões exigidos – o que resulta na destruição de muitas bolachas. Essas lâmpadas de aquecimento com água ultrapura não são acessórios adicionais; elas são essenciais para manter a estabilidade do processo de tratamento do fotoresista em salas limpas de classe 1–100.

Desenvolvemos essa lâmpada usando luz infrvermelha de onda curta, que se encaixa perfeitamente na capacidade de absorção da água. Isso permite um aquecimento rápido e uniforme do líquido, sem pontos quentes. A uniformidade térmica ao longo do caminho do fluido fica dentro de ±0,1°C, o que garante que os parâmetros de aquecimento sejam consistentes, ciclo após ciclo. A estrutura da lâmpada, feita de quartzo e com componentes resistentes à corrosão, evita a geração de partículas e permite a exposição contínua à água ultrapura.

Puro on Cutting-Edge IR Heating Technology

Lâmpada de aquecimento de água ultra pura