Por que usamos a cura por infravermelho no processamento de wafers
Vamos falar sobre secagem e cura. No mundo dos semicondutores, deixamos de lado o método antigo de processamento – você sabe, aquele uso de combustão intensa e solventes químicos prejudiciais. Em vez disso, optamos pela tecnologia de infravermelho. É uma maneira mais limpa de fazer as coisas. Ao usar energia radiante direta, podemos evitar processos que envolvem chumbo e sistemas de aquecimento que emitem muita energia. É um método mais simples e eco-friendly para realizar o trabalho, sem causar problemas ambientais.
Como funciona o calor
Pense em um forno de convecção: ele precisa aquecer todo o ar dentro do forno antes que a comida fique quente. Isso é um desperdício de tempo e energia. As lâmpadas de infravermelho são diferentes. Elas enviam energia diretamente para a superfície do wafer. Não há necessidade de sistemas complexos de circulação de ar ou espera. Utilizamos ondas curtas e médias de infravermelho, pois elas atingem exatamente as camadas de fotoresista ou adesivo onde são necessárias, sem danificar o substrato. É um método preciso. E, como é preciso, a lâmpada consome muito menos energia.
O equilíbrio entre distância e densidade
É crucial encontrar o equilíbrio certo entre a distância entre a lâmpada e o wafer. É como andar em uma corda bamba. Se a lâmpada estiver muito perto, surgirão “pontos quentes”, podendo até queimar as bordas dos wafers. Mas se ela estiver muito longe, o calor será desperdiçado no ambiente. Gastamos bastante tempo calibrando isso, levando em conta a potência e o comprimento de onda da lâmpada. Lâmpadas de alta potência são eficazes, mas é preciso garantir que o sistema de resfriamento consiga lidar com a energia refletida. Caso contrário, a lâmpada acabará se queimando.
As vantagens e desvantagens
A melhor coisa sobre a cura por infravermelho é que é um processo “seco”. Não há necessidade de lidar com VOCs ou com o tratamento de gases poluentes. O sistema de filtragem torna-se muito mais simples de gerenciar. Mas há um problema: quando as lâmpadas são ligadas, ocorre um aumento significativo na consumo de energia. É preciso ter um fornecimento de energia estável, para evitar quedas de tensão assim que os aquecedores começam a funcionar. Mas, uma vez que a temperatura está adequada, tudo fica mais rápido. Os tempos de ciclo diminuem, e você acaba gastando menos kWh por wafer. É simplesmente mais eficiente.