
Pare de esperar pelo aquecimento por ar quente: por que o aquecimento por radiação infravermelha é a solução ideal para sua linha de produção
A maioria das linhas de produção de semicondutores mais antigas ainda usa esse método lento de aquecimento por ar quente. É um processo lento: o ar é soprado ao redor do componente, aquecendo toda a câmara, e depois… só resta esperar. Na verdade, você está apenas esperando que o wafer se aqueça por convecção, o que causa grandes atrasos na produção.
Nós fazemos as coisas de maneira diferente. Substituímos esses sopradores de ar por lâmpadas de radiação infravermelha de alta intensidade, localizadas atrás de proteções feitas de vidro de quartzo de precisão.
O verdadeiro custo da espera
O ar quente é lento. O ar ao redor do componente funciona como um isolante, retardando todo o processo.
Já a radiação infravermelha não se importa com o ar. Os fótons vão diretamente do filamento até o objetivo desejado. É algo instantâneo.
Pense nisso: se você conseguir reduzir um ciclo de aquecimento de 10 minutos para 30 segundos por lote, esse gargalo na produção desaparece. Isso representa muito tempo economizado.
O segredo está no vidro de quartzo
Você pode se perguntar por que usamos proteções de vidro de quartzo. Bem, o vidro comum derreteria ou racharia assim que as lâmpadas atingissem sua potência máxima.
O quartzo é diferente. Ele suporta o calor sem problemas e permite que a radiação infravermelha passe através dele. Além disso, protege o filamento da lâmpada de todas as substâncias químicas presentes na câmara de processamento.
E aqui está o melhor: se a proteção se sujar devido aos subprodutos do processo, basta substituir o tubo de quartzo. Não é preciso gastar horas reconfigurando toda a estrutura da lâmpada.
Algumas coisas a considerar
Claro, isso não é algo que funcione “plug and play”. Como o aquecimento por radiação infravermelha é muito intenso, ele exerce grande pressão sobre os sistemas de resfriamento. Você não pode simplesmente colocar essas lâmpadas em um sistema de refrigeração antigo e esperar pelo melhor resultado.
Você precisa verificar se os dissipadores de calor são capazes de lidar com a carga térmica nas paredes da câmara. Caso contrário, os componentes podem se deformar.
Mas, uma vez que você configure corretamente a fiação e o sistema de resfriamento, você deixará de desperdiçar energia aquecendo o ar e começará a direcionar esse calor exatamente para onde ele precisa ir: no componente em si.