http://ir-heater-tech.com/nl/tags/warmte/ Recent content in Warmte on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/nl/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Uniforme warmte voor 300mm wafer IR"></p> <p>Op een 300mm-lijn is het bakken van de fotoresist het moment waarop het thermische budget wordt vastgelegd. Een warme of koude rand, een afwijking tijdens de hard bake, en de CD-uniformiteit valt uiteen—afkeur stapelt zich op terwijl de planner dezelfde batch blijft doorzetten. We hebben de 300mm wafer IR-verwarmingsmodule ontwikkeld om die variabiliteit uit te sluiten.</p> <p><strong>Wat er werkelijk toe doet</strong><br> Het verkrijgen van uniforme warmte over een 300mm wafer begint met een kortegolf-infrarood emitterarray en een kwartsgebaseerd thermisch ontwerp dat de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over het gehele oppervlak handhaaft. Temperatuuropslagen zijn herhaalbaar, zodat soft bake- en hard bake-profielen exact het recept volgen, batch na batch. De module werkt in Class 1–100 cleanrooms zonder deeltjes toe te voegen—afgesloten emitters, inert kwarts-traject en cleanroomcompatibele bevestigingen houden de deeltjesgeneratie op nul.</p>