Lamp voor het verwarmen van ultrazuiver water

Wed, 24 Jun 2026 01:28:53 +0800

Op de 300mm-lijn is zelfs een temperatuurschommeling van een halve graad tijdens het zachte bakproces voldoende om de vereiste specificaties voor de kritieke dimensies niet te worden nageleefd. Dit resulteert erin dat veel wafer’s asbest worden verklaard. Die ultrazuiverheidswarmtelampen zijn geen aanvullingen; ze vormen juist de thermische stabilisator die zorgt voor een constante temperatuur tijdens het verwerken van fotoresisten in zuiverruimten van klasse 1–100.

We hebben deze lamp ontworpen met behulp van kortegolflang infraroodlicht, zodat het water efficiënt wordt opgewarmd, zonder dat er hete plekken ontstaan. De thermische uniformiteit over het hele vat blijft binnen ±0,1°C. Hierdoor kunnen de bakparameters steeds worden gecontroleerd, run na run. De constructie – gemaakt van kwarts en corrosievertragende materialen – zorgt ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd en dat de lamp continu kan werken onder invloed van UPW.

Puur on Cutting-Edge IR Heating Technology

Lamp voor het verwarmen van ultrazuiver water