Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Tue, 21 Jul 2026 02:13:03 +0800

Proses pengeringan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan menggunakan bahan kimia merupakan proses yang sangat berisiko. Mengapa? Kerana ia sama seperti bermain dengan api. Apabila terdapat wap kimia yang mudah terbakar atau meletup di udara, lampu inframerah biasa bukan sahaja tidak berguna, malah boleh menjadi sumber bahaya. Sebarang percikan api atau titik panas pada permukaan komponen tersebut boleh menyebabkan kebakaran. Ini merupakan situasi yang menakutkan yang membuat para pengurus kilang gelisah sepanjang masa.

Mengelakkan percikan api
Kami memutuskan untuk tidak lagi menggunakan lampu yang diletakkan di luar. Sebaliknya, kami meletakkan tiub kuarza tersebut di dalam sarung yang tahan bahan kimia. Ia berfungsi sebagai pelindung yang mengasingkan sentuhan elektrik daripada udara di sekelilingnya. Dengan cara ini, bahan organik volatil (VOCs) tidak dapat mendekati pin-pin yang aktif. Biasanya, penutup tersebut akan rosak akibat tekanan atau suhu yang tinggi. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan gasket fluor elastomer yang tahan suhu tinggi. Gasket ini mampu bertahan walaupun berada dalam keadaan suhu yang ekstrem. Kami juga memastikan gasket tersebut sesuai untuk tekanan tertentu, kerana jika penutup tersebut rosak, wap kimia akan masuk ke dalam. Dan itu tentunya tidak boleh diterima.

MEMS on Cutting-Edge IR Heating Technology

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS