http://ir-heater-tech.com/ms/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ms/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ms/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Panas seragam untuk wafer 300mm IR"></p> <p>Pada <a href="https://henruite.com">barisan</a> 300mm, proses pemanggangan photoresist adalah di mana anda mengunci bajet terma. Kecerunan panas atau sejuk di tepi, pergeseran semasa hard bake, dan keseragaman CD anda akan hancur—sampah bertimbun <a href="https://goldisgood.com">sementara</a> penjadual terus menolak lot yang sama. Kami membina modul pemanasan IR wafer 300mm untuk mengeluarkan variabiliti itu dari persamaan.</p> <p><strong>Apa yang benar-benar penting</strong><br> Mendapatkan haba seragam merentasi wafer 300mm bermula dengan susunan pemancar inframerah gelombang pendek dan reka bentuk terma berasaskan kuarza yang mengekalkan keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C merentasi keseluruhan permukaan. Lonjakan suhu boleh diulang, jadi profil soft bake dan hard bake mengikut resipi dengan tepat, satu batch demi satu batch. Modul ini beroperasi di bilik bersih Kelas 1–100 tanpa menambah zarah—pemancar yang tersegel, laluan kuarza inert, dan pemasangan yang serasi dengan bilik bersih memastikan penghasilan zarah adalah sifar.</p>