http://ir-heater-tech.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="포토레지스트 경화용 적외선 램프"></p> <p>팹 내에서 리소그래피 공정의 열 관리는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계부터 시작됩니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1.5°C 정도의 온도 변화가 생기거나 특정 부분이 차가워지면, 중요한 치수들이 빠르게 변하게 됩니다. 이로 인해 전체 제품이 폐기되고 생산라인의 작업이 중단될 수 있습니다.</p>