http://ir-heater-tech.com/ko/tags/%ED%8C%8C%EB%8F%84/ Recent content in 파도 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼용 중파 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 작업장에서 오븐 램프가 켜지고 벨이 올라가면 웨이퍼가 설정값에 도달할 때까지 기다린다. ‘근접’이 아니라 ‘설정값’. 모든 공정에서 그렇다.<br> 드리프트하는 소프트 베이크는 레지스트 점도와 정재파 거동을 변화시키며, 균일하지 않은 하드 베이크는 가장자리 잔류물을 남기고 반사 노치 깊이를 이동시키며 CD 제어를 일상적인 문제로 만든다. 열 균일성이 맞지 않으면 장비를 신뢰하지 못하게 된다. 공정 창을 운영하는 대신 변동을 쫓게 된다.<br> 중파장 적외선 히터는 이러한 제약 조건을 위해 설계되었다. 즉, 열장에 대해 서브밀리미터 단위의 공간 제어가 가능한 반복 가능한 온도 공급이다.</p>