http://ir-heater-tech.com/ko/tags/%EC%B9%98%EB%A3%8C/ Recent content in 치료 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ko Sat, 25 Jul 2026 02:51:14 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/preventing-wafer-contamination-via-infrared-lamp-reflector-design/ Sat, 25 Jul 2026 02:51:14 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/preventing-wafer-contamination-via-infrared-lamp-reflector-design/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 경화 램프용 반사판"></p> <p>와이퍼가 손상되는 것을 막아보세요.<br> 와이퍼를 건조하는 과정에서 램프가 고장나면, 단순한 가동 중단 문제가 아니라 심각한 문제가 발생합니다. 마치 악몽과도 같죠.<br> 무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 갑자기 유리 조각들과 할로겐 가스가 실리콘 위로 쏟아집니다. 정말 엉망이 되겠죠. 바로 이런 이유로 우리는 반사체를 그냥 반짝이는 금속 조각으로 만드는 대신, 더 효과적인 방어 수단으로 설계합니다.</p> http://ir-heater-tech.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="포토레지스트 경화용 적외선 램프"></p> <p>팹 내에서 리소그래피 공정의 열 관리는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계부터 시작됩니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 1.5°C 정도의 온도 변화가 생기거나 특정 부분이 차가워지면, 중요한 치수들이 빠르게 변하게 됩니다. 이로 인해 전체 제품이 폐기되고 생산라인의 작업이 중단될 수 있습니다.</p>