http://ir-heater-tech.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EB%B3%B5/ Recent content in 제복 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ko/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="300mm 웨이퍼 IR 균일 열 처리"></p> <p>300mm 라인에서 포토레지스트 베이킹은 열 예산을 고정하는 단계입니다. 가장자리의 과열 또는 과냉, 하드 베이크 중 온도 변동이 발생하면 CD 균일성이 무너지고, 불량이 쌓이는 동안 스케줄러는 동일한 로트를 계속 밀어붙입니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 300mm 웨이퍼 IR 가열 모듈을 개발했습니다.</p>