部屋 on Cutting-Edge IR Heating Technology

半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

Sun, 26 Jul 2026 14:14:35 +0800

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る

大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に部品を交換すれば済むというわけではなく、破損によって生じる混乱も問題です。
クォーツチューブがウェーハカートリッジ上で破裂すると、ガラスの破片や金属酸化物の粒子が製品の上に降り注ぎます。そうなると、その製品はすぐに廃棄処分されてしまいます。私たちは、このような事態が起こらないようにする方法を長年研究してきました。

クリーンルーム設備のアップグレードが行われている

Sat, 18 Jul 2026 02:23:54 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もしご自身が半導体製造工場を運営しているなら、汚染された製品ができてしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、加熱要素から粒子やガスが放出されてはいけません。そんなことは絶対に起こってはいけないのです。

一般的なIRランプは、高い熱ストレスによって壊れてしまいます。劣化したり、剥がれ落ちたりして、微細な破片が生産ラインに入ってしまいます。これは大変な問題です。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 02:21:33 +0800

なぜクリーンルームでは強制送風式の加熱装置を使わず、赤外線ヒーターを採用するのか？ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式の加熱装置が使われている。これは昔からのやり方で、まず空気を温め、その空気が部品を温めることを期待するのだ。しかし問題は、この方法では時間がかかりすぎることだ。莫大な時間が必要になり、作業効率が低下する。さらに、クリーンルームでは大量の空気を動かすことは、まるでホコリを招き入れるようなものだ。空気を多く動かせば動かすほど、シリコン上にホコリが付着するリスクが高まる。だからこそ、私たちは赤外線ヒーターを採用したのだ。空気を使わないからだ。

クリーンルーム用赤外線ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 17:14:59 +0800

なぜクリーンルーム内のヒーターにおいて電気的な安全性が重要なのか
クリーンルームでは、「小さな」間違いというものは許されません。わずかな電気アークや絶縁不良でも、ヒーターを壊すだけでなく、全体の環境を台無しにしてしまいます。すべてが汚染されてしまうのです。これは誰も望むような状況ではありません。

静かな部屋用ヒーター

Wed, 13 May 2026 13:22:35 +0800

このサイレントヒーターの中身とは

本質はここにあります。このサイレントルームヒーターは本格的な赤外線ハロゲンランプで動作します。2500Wで、400Vで動きます。
なぜ400Vかというと、産業用の現場ではこれが標準供給電圧であり、長い配線距離でも電流を管理しやすくするためです。ランプの長さは300mmで、熱を狭い範囲に集中させます。つまり、機械の貴重なスペースを占有せずに、必要な場所に強烈な熱を届けることができます。