http://ir-heater-tech.com/ja/tags/%E6%B3%A2/ Recent content in 波 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ用中波赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアでは、オーブンのランプが点灯し、ベルが上がり、ウェーハが設定点に達するのを待つ。近いではなく、設定点だ。すべての工程で。</p> <p>ソフトベークの温度がずれるとレジストの粘度や定在波の挙動が変わる。ハードベークが均一でなければエッジに残留物が残り、反射ノッチの深さが変わり、CD制御は日々の課題となる。熱の均一性が損なわれれば、装置への信頼が失われ、工程ウィンドウを運用するのではなく、逸脱値を追いかけることになる。</p>