http://ir-heater-tech.com/ja/tags/%E5%8A%A0%E7%86%B1/ Recent content in 加熱 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:28:52 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/ultra-pure-water-heating-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:28:52 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/ultra-pure-water-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="超純水加熱ランプ"></p> <p>300mmラインでは、ソフトベイクの際に温度が半度程度変動するだけで、重要な<a href="https://o-yate.net">寸法</a>の基準を満たせなくなり、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。そのため、超純水を加熱するためのランプは単なる<a href="https://goldisgood.com">付属品</a>ではありません。それは、クラス1～100の清浄室内でフォトレジストの処理を安定させるための重要な要素なのです。</p> <p>私たちは、水の吸収特性に合わせた短波長赤外線を利用してこのランプを設計しました。これにより、ホットスポットが生じることなく、迅速に液体全体が加熱されます。流体経路全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれるため、ベイクプロセスの結果が毎回同じになります。石英製の構造と耐腐食性のある部品により、粒子の発生を防ぎ、超純水への継続的な露出にも対応できます。</p>