http://ir-heater-tech.com/ja/tags/%E5%88%B6%E6%9C%8D/ Recent content in 制服 on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="300mmウェーハ赤外線均一加熱"></p> <p>300mmラインにおいて、フォトレジストのベークは熱予算を確定する工程である。エッジの過熱や冷却、ハードベーク中の温度ドリフトが発生すると、CDの均一性が崩れ、不良が積み上がる一方でスケジューラーは同じロットを繰り返し投入し続ける。そこで、300mmウェハ用IR加熱モジュールを開発し、その変動要因を排除した。</p>