http://ir-heater-tech.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%B3%E3%83%88/ Recent content in フィラメント on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:32:54 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:32:54 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/replacement-filament-for-fab-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ファブランプ用替えフィラメント"></p> <p>ファブの現場では、ソフトベイクは単なる工程の一つに過ぎません。実際には、それはリソグラフィー工程全体の温度制御を担う重要な要素です。ウェハ全体の温度が0.5℃でも変動すると、CDの精度が低下し始めます。線幅のばらつきも増え、歩留まりも著しく悪化します。OEM製のランプでも一定の出力は得られますが、プロセスの要件を満たす<a href="https://goldisgood.com">再現性</a>を得るには、専用に設計された交換用フィラメントが必要です。</p>