http://ir-heater-tech.com/ja/tags/%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%AA%E3%83%BC/ Recent content in トロリー on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ja Sun, 26 Jul 2026 14:14:35 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-engineering-in-clean-room-trolley-heaters/ Sun, 26 Jul 2026 14:14:35 +0800 http://ir-heater-tech.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-engineering-in-clean-room-trolley-heaters/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="半導体クリーンルーム用トロリーヒーター"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐランプの故障からウェーハを守る">シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る</h1> <p>大量生産の半導体製造ラインにおいて、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に部品を交換すれば済むというわけではなく、破損によって生じる混乱も問題です。<br> クォーツチューブがウェーハカートリッジ上で破裂すると、ガラスの破片や金属酸化物の粒子が製品の上に降り注ぎます。そうなると、その製品はすぐに廃棄処分されてしまいます。私たちは、このような事態が起こらないようにする方法を長年研究してきました。</p>