Riscaldatore a infrarossi a onda media per wafer

Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800

Sulla linea di litografia, si accende la luce del forno, si solleva la campana e si aspetta che il wafer raggiunga il setpoint. Non “vicino”. Il setpoint. Ogni ciclo. Una soft bake che devia modifica la viscosità del resist e il comportamento delle onde stazionarie. Una hard bake non uniforme lascia residui ai bordi, sposta la profondità della tacca di riflessione e trasforma il controllo del CD in una lotta quotidiana. Quando l’uniformità termica non è corretta, si smette di fidarsi dello strumento. Si inizia a inseguire le escursioni invece di gestire la finestra di processo. I riscaldatori a infrarossi a media onda sono stati progettati per questa esigenza: fornire una temperatura ripetibile con controllo spaziale della zona di calore a sub-millimetro.

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Riscaldatore a infrarossi a onda media per wafer