Lampu pemanas air yang sangat murni

Wed, 24 Jun 2026 01:28:53 +0800

Pada proses pembakaran dengan panjang gelombang 300 mm, perubahan suhu sebesar setengah derajat selama proses pembakaran saja sudah cukup untuk membuat dimensi kritis benda kerja tidak memenuhi standar yang ditetapkan. Hal ini akan menyebabkan banyak sekali wafer yang harus dibuang. Lampu pemanas berbasis air yang sangat murni tersebut bukanlah komponen tambahan; melainkan alat yang digunakan untuk menjaga stabilitas suhu selama proses pengolahan fotoresist di ruang bersih kelas 1–100.

Lampu ini menggunakan sinar inframerah gelombang pendek (SWIR), sehingga panas dapat diserap dengan cepat oleh air, tanpa adanya titik panas yang berlebihan. Kestabilan suhu di sepanjang saluran cairan tetap berada dalam rentang ±0,1°C. Hal ini memungkinkan profil pemanasan menjadi lebih dapat diprediksi dari satu siklus ke siklus berikutnya. Struktur lampu yang terbuat dari kuarsa dan komponen tahan korosi membuatnya mampu menghindari pembentukan partikel-partikel kecil, serta mampu bertahan dalam kondisi paparan air murni secara kontinu.

Ultra on Cutting-Edge IR Heating Technology

Lampu pemanas air yang sangat murni