http://ir-heater-tech.com/id/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo id Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/id/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/id/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Panas seragam untuk wafer IR 300mm"></p> <p>Pada lini 300mm, proses pemanggangan photoresist adalah tahap di mana anggaran termal dikunci. Tepi yang terlalu panas atau <a href="https://henruite.com">dingin</a>, pergeseran selama hard bake, dan uniformitas CD Anda akan rusak—limbah menumpuk sementara penjadwal terus mendorong lot yang sama. Kami mengembangkan modul <a href="https://o-yate.com">pemanas</a> IR wafer 300mm untuk menghilangkan variabilitas tersebut dari persamaan.</p> <p><strong>Apa yang benar-benar penting</strong><br> Mendapatkan panas yang seragam di seluruh wafer 300mm dimulai dengan array pemancar inframerah gelombang pendek dan desain termal berbasis kuarsa yang menjaga uniformitas tingkat wafer dalam ±0,1°C di seluruh permukaan. Kurva kenaikan suhu dapat diulang, sehingga profil soft bake dan hard bake mengikuti resep dengan tepat, batch demi batch. Modul ini beroperasi di ruang bersih Kelas 1–100 tanpa menambah partikel—pemancar yang tersegel, jalur kuarsa inert, dan perlengkapan yang kompatibel dengan ruang bersih menjaga produksi partikel tetap nol.</p>