Mengapa kita menggunakan teknologi pengeringan inframerah dalam proses pemrosesan wafer
Mari kita bicarakan tentang proses pengeringan dan pematangan bahan. Di dunia semikonduktor, kita sudah mulai meninggalkan metode lama yang menggunakan proses pembakaran yang intensif serta zat-zat kimia berbahaya. Sebagai gantinya, kita menggunakan teknologi inframerah.
Teknologi ini lebih ramah lingkungan. Dengan menggunakan energi radiasi langsung, kita dapat menghindari penggunaan proses yang membutuhkan bahan berbasis timbal serta sistem pemanasan yang menyebabkan emisi tinggi. Ini merupakan cara yang lebih sederhana dan ramah lingkungan untuk menyelesaikan pekerjaan tersebut, tanpa menimbulkan masalah lingkungan.
Bagaimana cara kerja panas tersebut
Bayangkan oven konveksi. Oven tersebut perlu memanaskan seluruh udara di dalamnya sebelum makanan menjadi hangat. Itu merupakan pemborosan waktu dan energi.
Lampu inframerah berbeda. Lampu ini mengirimkan energi langsung ke permukaan wafer. Tidak diperlukan unit pengatur udara yang besar, dan tidak perlu menunggu lama. Kita menggunakan gelombang inframerah pendek dan menengah, karena energi tersebut akan langsung mencapai lapisan fotoresist atau lapisan perekat yang membutuhkan pemanasan, tanpa merusak substratnya. Energi tersebut ditujukan secara tepat ke tempat yang dibutuhkan. Karena ketepatannya, lampu ini tidak membutuhkan banyak energi.
Menyeimbangkan jarak dan densitas
Yang penting adalah menentukan jarak yang tepat antara lampu dan wafer. Jika lampu diletakkan terlalu dekat, maka akan terjadi “titik panas” yang bisa merusak pinggiran wafer. Namun, jika lampu diletakkan terlalu jauh, maka energi panas akan terbuang sia-sia.
Kita perlu meluangkan waktu untuk menyetel jarak tersebut, sesuai dengan daya dan panjang gelombang lampu tersebut. Lampu dengan daya tinggi memang efektif, tetapi sistem pendingin harus mampu menghadapi energi yang dipantulkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, lampu tersebut akan rusak.
Kelebihan dan kekurangan
Kelebihan utama dari teknologi pengeringan inframerah adalah bahwa prosesnya “kering”. Kita tidak perlu menghadapi masalah berkaitan dengan VOC atau limbah beracun akibat bahan berbasis timbal. Sistem filtrasi pun menjadi lebih mudah diatur.
Namun, ada satu kekurangan. Ketika lampu mulai bekerja, akan terjadi lonjakan daya yang signifikan. Anda membutuhkan sumber daya listrik yang stabil agar tegangan tidak turun saat lampu mulai bekerja.
Tetapi setelah suhu mencapai titik yang diinginkan, segalanya akan berjalan lebih cepat. Waktu proses pun berkurang, sehingga penggunaan energi per wafer juga berkurang. Ini tentu saja lebih efisien.