http://ir-heater-tech.com/hi/tags/300-%E0%A4%AE%E0%A4%BF%E0%A4%AE%E0%A5%80/ Recent content in 300 मिमी on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo hi Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/hi/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/hi/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="300 मिमी वेफर के लिए समान तापमान IR"></p> <p>300mm लाइन पर, फोटोरेसिस्ट बेक वह चरण है जहाँ आप थर्मल बजट को लॉक करते हैं। यदि बेक के दौरान किनारे पर तापमान अधिक या कम हो, या हार्ड बेक के दौरान ड्रिफ्ट हो, तो आपकी CD युनिफॉर्मिटी बिगड़ जाती है—स्क्रैप बढ़ता है जबकि शेड्यूलर लगातार उसी लॉट को धकेलता रहता है। हमने 300mm वेफर IR हीटिंग मॉड्यूल इस अस्थिरता को खत्म करने के लिए बनाया है।</p> <p><strong>वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है</strong><br> 300mm वेफर पर समान तापमान प्राप्त करना एक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर एरे और क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन से शुरू होता है जो पूरे सतह पर ±0.1°C की सीमा में वेफर-स्तरीय युनिफॉर्मिटी बनाए रखता है। तापमान वृद्धि दोहराने योग्य होती है, इसलिए सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल रेसिपी के अनुरूप बिल्कुल ट्रैक होते हैं, बैच दर बैच। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 क्लीनरूम में बिना पार्टिकल्स जोड़े चलता है—सील्ड एमिटर, इनर्ट क्वार्ट्ज पाथ और क्लीनरूम-अनुकूल फिक्स्चर पार्टिकल जनरेशन को शून्य पर बनाए रखते हैं।</p>