उपचार/ठीक करना on Cutting-Edge IR Heating Technology

वेफर क्यूरिंग लैंप के लिए रिफ्लेक्टर

Sat, 25 Jul 2026 02:51:14 +0800

वेफरों को नष्ट होने से बचाएं…

जब वेफरों को सुखाने के दौरान लैंप खराब हो जाता है, तो यह सिर्फ उत्पादन रुकने की समस्या ही नहीं है… यह तो एक बड़ी समस्या है।
कल्पना कीजिए कि भारी भार के कारण क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है… तुरंत ही काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस सिलिकॉन पर गिरने लगते हैं… यह तो बहुत ही खतरनाक स्थिति है। इसी कारण हम अपने रिफ्लेक्टरों को सिर्फ चमकदार धातुओं के टुकड़ों के रूप में ही नहीं, बल्कि वास्तविक सुरक्षा उपकरणों के रूप में ही डिज़ाइन करते हैं।

प्रमाणित इन्फ्रारेड क्यूरिंग लैंप निर्माण केंद्र

Sat, 11 Jul 2026 05:39:13 +0800

हम एक्सचेंज कन्वेक्शन ओवनों की जगह IR करिंग लैंपों का उपयोग क्यों कर रहे हैं?

ईमानदारी से कहें तो, पुराने तरह के कन्वेक्शन ओवन अब प्रचलन में नहीं हैं। ये धीमे हैं, आकार में बड़े हैं, और अब इनका उपयोग उचित नहीं है… खासकर तब, जब हम सभी “शीर्ष-रहित” एवं “हरित ऊर्जा” मानकों की ओर बढ़ रहे हैं।
इसीलिए हमने प्रमाणित इन्फ्रारेड (IR) करिंग लैंपों का उपयोग शुरू किया है। पूरे कमरे में हवा को गर्म करने के बजाय, IR लैंप विद्युतचुम्बकीय विकिरण का उपयोग करते हैं। यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है… आप सीधे ही सामग्री को गर्म कर रहे हैं… कोई मध्यस्थ नहीं।

फोटोरेसिस्ट को सूखाने हेतु इन्फ्रारेड लैंप

Mon, 22 Jun 2026 19:38:16 +0800

फैब फ्लोर पर, लिथोग्राफी हेतु आवश्यक ऊष्मा-संबंधी मापदंडों की गणना “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं से शुरू होती है। वेफर पर 1.5°C का अंतर, या कोई “कोल्ड स्पॉट”, महत्वपूर्ण आयामों को तेजी से प्रभावित कर देता है; इस कारण पूरे उत्पादन दल बर्बाद हो जाते हैं।
हमने ऐसी इन्फ्रारेड लैंपें विकसित कीं, जिससे ऊष्मा-संबंधी मापदंड स्थिर रहें।
वास्तव में, वेफर स्तर पर नियंत्रण ही महत्वपूर्ण है। हमारे NIR लैंप, ऊर्जा को तुरंत फोटोरेसिस्ट में ही भेजते हैं; इससे वेफर की समतलता ±0.1°C के भीतर ही बनी रहती है। लैंप का शरीर क्वार्ट्ज से बना है, एवं इसमें उच्च-शुद्धता वाले रिफ्लेक्टर हैं; इसलिए यह क्लास 1–100 में बिना किसी रुकावट के काम करता है।
आउटपुट की दोहराव-क्षमता 24 घंटे तक 0.5% के भीतर ही रहती है; क्लोज्ड-लूप नियंत्रण से ऊष्मा-संबंधी मापदंड स्थिर रहते हैं।
व्यावहारिक रूप से, यह तरीका अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप है; इससे CD नियंत्रण बेहतर होता है, पुनः-प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं बर्बाद होने वाले उत्पादों की मात्रा भी कम हो जाती है।
ऊर्जा-खपत कम होती है, क्योंकि लैंप केवल फोटोरेसिस्ट को ही गर्म करता है, पूरे चैंबर को नहीं। हमने ऐसे लैंपों को 5,000 घंटे से अधिक समय तक इस्तेमाल किया है; इस दौरान आउटपुट में 5% से भी कम की गिरावट देखी गई।
कुछ व्यावहारिक बातें: ये लैंप मानक SEMI इंटरफेसों एवं लिथोग्राफी प्रक्रियाओं के अनुरूप हैं; लेकिन इनके एकीकरण हेतु ध्यान देने की आवश्यकता है – स्टेज का ऊष्मा-भार एवं वेंटिलेशन पथ भी महत्वपूर्ण हैं।
अपने फोटोरेसिस्ट स्टैक के अनुरूप लैंप के प्रोफाइल को समायोजित करने हेतु एक छोटा सा ट्यूनिंग प्रक्रिया आवश्यक है। एक बार यह समायोजन हो जाने के बाद, प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है, एवं उत्पादन जारी रहता है।